APS1500-ST全自動APD測試分選系統
詳細說明
APD1500-ST全自動分選設備，是APD芯片生產過程中的參數特性一致性自動化篩選設備。將管芯從藍膜拾取，并放置到CHUCK臺參數測試，依據測試結果分BIN并放置到指定晶粒盒里?？蛇m用多種尺寸的管芯和多種規格的晶粒盒（Tray盤）
項 目 | 指標參數 | |
循環時間 | ≥1s（2mm以下芯片、包括PR時間） | |
放片精度 | ±50μm (XY定位) ±5° (θ) | |
芯片尺寸 | 0.8×0.8～3×3mm | |
晶片臺 | Wafer尺寸 | 4″ |
最大行程 | 150×150 mm | |
重復精度 | ±0.005mm | |
對準功能 | CCD自動對準 | |
拾取機構 | 吸 頭 | 表面拾取型 |
旋轉臂 | 90°旋轉焊臂 Z向行程:6mm，分辨率：1μm 定位精度：＜±5μm | |
頂針機構 | 行程及分辨率 | 2mm(max)行程、分辨率：2μm |
功 能 | 脫膜、電極 | |
測試臺
| XY臺 | X軸行程:20mm，Y軸行程:100mm 分辨率：1μm 定位精度：＜±5μm |
Z臺 | Z臺行程：8mm，分辨率：1μm 定位精度：＜±3μm | |
θ臺 | θ臺行程：±10°分辨率：0.006 | |
圖像系統2 | 自動識別芯片對準：＜20ms | |
芯片吸附 | 真空 | |
分檔機構 | 機構行程 | 300×140mm |
重復精度 | ±0.005mm/0.2mm | |
Tray盤規格尺寸 | 2″/3″/4″ | |
分BIN | 9擋（3×3） | |
設備尺寸 | 1630(W)×890(D)×1700(H) mm | |
設備重量 | 700Kg±10% | |
所需電源 | 220V±10% | |
所需氣壓 | 0.5MPa | |
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