AP300
- 副標題全自動光柵尺閉環工作臺（常溫）
詳細說明
全自動GPP探針臺
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測片徑 | 8#12# | |
| XY工作臺 | 最大行程 | X方向410mmxY方向710mm |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 定位精度 | ≤ ±1μm | |
| 控制 | 高精度高剛性、伺服電機/光柵尺閉環控制系統 | |
| 承片臺 | 行程 | Z: 40mm; θ±10° |
| 定位精度 | ≤ ±1μm | |
| 分辨率 | Z: 0.1μm; θ: 0.00007° | |
| LOADER | 方式 | 雙機械手自動上料、下料 |
| Wafer固定 | 背面真空吸附 | |
| Cassette | 單Cassette晶圓盒：25片 Cassette自動開蓋 | |
| 預對準 | 對準精度 | X,Y ±300μm or± 1° |
| Noch | 0°、90°、180°、270°可選 | |
| 上下片方式 | 自動方式 | |
| 軟件功能 | 操作權限 | 操作員/工程師/管理員 |
| MAP | 編輯/加載/導出 | |
| 對準 | 全自動對針系統、自動掃平/首點對準 | |
| 測試 | 圓形測試/MAP測試/重測/跳測 | |
| 打點 | 噴墨打點；墨點尺寸:Φ0.5mm | |
| 接口 | TTL（標準）：GPIB/RS232/串口 | |
| 外形尺寸（寬*深*高） | 1400mm×1300mm×1600mm | |
| 設備重量 | 約1700KG | |
| 使用環境 | 電源 | AC 220V±22V/50Hz±1Hz/不大于2.5kW |
| 工作環境 | 溫度：15oC-30oC/濕度：＜60% | |
| 場務氣源 | 氮氣、壓縮空氣接口 | |
| 真空源 | WAFER固定無油真空泵（自配或場務） | |
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