APS1500X-VCSEL
- 副標題VMP探針臺（4站）
詳細說明
VCSEL激光器晶圓測試，速度快，公能齊全，可選LIV，近場遠場光學特性，光譜等參數測試。
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測圓片尺寸 | 6# | |
| xy工作臺 | 行程 | 330mm*400mm |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 定位精度 | ≤±3μm | |
| 控制方式 | 直線電機，光柵尺閉環 | |
| 承片臺 | Z向行程 | 30mm |
| 分辨率 | 1μm | |
| 定位精度 | ±3μm | |
| θ向微調范圍 | ±10°（分辨率0.0000425°） | |
| CHUck盤 | 平面度 | ＜10μm |
| 結構尺寸 | 6°微孔平面盤 | |
| 測試機構 | 溫控范圍：RT室溫-150°，可根據需求指定溫控范圍 | |
| 積分球及近場，遠場鏡頭結構 | 積分球，近場，遠場鏡頭，顯微鏡機構自動切換機構 | |
| 軟件功能 | MAP | 加載，編輯，導出 |
| 對準 | 自動掃平，首點對準 | |
| 測試 | 圓形，MAP，重測，跳測。 | |
| 打點 | 離線，同步，噴墨打點，墨點尺寸φ0.5mm | |
| 接口 | TTL(標準）：GPIB/RS232/接口（選項） | |
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