APS-2000XT2
- 副標題8寸半自動三溫精密探針臺
詳細說明
通用半自動測試，8寸以下兼容，有高低溫測試選件。
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測圓片尺寸 | 6#8# | |
| xy工作臺 | 行程 | 220mm*450mm |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 定位精度 | ≤±5μm | |
| 控制方式 | 直線電機，光柵尺閉環 | |
| 承片臺 | Z向行程 | 30mm（分辨率1μm） |
| 定位精度 | ≤±3μm | |
| Z臺自動補償 | 位移傳感器自動晶圓高度測試（選配） | |
| θ向微調范圍 | ±10°（分辨率0.0000425°） | |
| Chuck盤 | 平面度 | ＜10μm |
| 結構尺寸 | 高低溫三同軸真空環槽結構 | |
| 溫控系統（高低溫選配） | 溫控范圍 | ‘-50°C~150°C |
| 溫控精度 | 分辨率0.1°C；溫控穩定性：全溫區±1°C | |
| 保護氣體 | N2（流量：20L/H，壓力：＜0.2MPa） | |
| 探針保護 | 八角盤 | |
| 微腔機構 | 微腔機構 | 整體封閉微腔；氮氣保護 |
| 上下片 | 方式 | 手動 |
| 圖像對準，觀察 | 配置 | 金相單筒顯微鏡，無級變倍范圍：0.6X~5X超長工作距離物鏡：2X/5X/10X三只 |
| 調節機構 | XY調節行程：50mm*50mm，Z軸微調30mm，Z氣動自動行程100mm（選配件） | |
| 減震臺 | 氣浮減震臺 | 950mm*1200mm*950mm（寬深高）一體化氣浮減震臺（500mm寬操作及儀表平臺） |
| 軟件功能 | MAP | 加載，編輯，導出 |
| 對準 | 自動掃平，首點對準 | |
| 測試 | 圓形，MAP，重測，跳測。 | |
| 打點 | 離線，同步，噴墨打點，墨點尺寸φ0.5mm | |
| 接口 | TTL(標準）：GPIB/RS232/接口（選項） | |
| 外形尺寸 | 探針臺尺寸 | 950mm*1200mm*1200mm(寬*深*高） |
| 溫控箱尺寸 | 800*800*1300（寬*深*高） | |
| 設備重量 | 約500KG | |
上一條: APS1500X-VCSEL
下一條: APS-2000X2
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