APS-2000X2
- 副標題8寸半自動精密探針臺
詳細說明
適用于8寸及以下的半自動晶圓高精度定位測試需求
| 項 目 | 性能指標 | |
| 可測芯片尺寸 | 8″圓片 | |
| (可選項)定制功能、單芯片拼板測試(專用夾具) | ||
| X、Y工作臺 | 行程 | X方向220mm×Y方向450mm |
| 分辨率 | 1μm | |
| 定位精度 | ≤ ±3μm | |
| 控制 | 大理石基座，直線電機，光柵尺閉環 | |
| （最大速度200mm/S） | ||
| 承片臺 | 行程 | 30mm |
| 分辨率 | 1μm | |
| 定位精度 | ≤ ±3μm | |
| θ臺微調范圍 | ±10 o （分辨率0.0007 o） | |
| 接觸分離距離 | 0.5mm（單芯片模式可設置） | |
| 承片盤 | 標準8″承片盤 | |
| （可選項）兼容專用夾具承載 | ||
| 上、下片 | 方式 | 手動 |
| 芯片固定 | 真空吸附 | |
| 圖像對準 | 模板對準，實時MAP | |
| 探針 | 探針卡方式（選配） | 圓形探卡適配器+定制圓形探針卡 |
| 探針座方式（選配） | 高精度三維座+分離探針 | |
| 打點 | 噴墨打點、墨點尺寸φ0.5mm | |
| 顯微鏡 | 標準配置 | 雙目體視顯微鏡：10×目鏡，鏡體倍率：0.6×～5×，LED環光照明，工作距離：80-110mm |
| 減震臺 | 阻尼減震臺 | 1000×1200×1400mm（寬深高）一體化阻尼減震臺 |
| （500mm寬操作及儀表平臺） | ||
| 外形尺寸 | 950 mm×1200 mm×1700 mm（寬×深×高） | |
| 設備重量 | 約700 KG | |
| 使用環境 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz 不大于1.5kW |
| 工作環境 | 溫度15oC-30oC，濕度＜60% | |
| 真空原 | WAFER固定無油真空泵（自配） | |
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