APS-1500A
- 副標題6寸半自動探針臺
詳細說明
通用半自動探針臺，因性價比高，適用各種分立元器件，傳感器等產品測試
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測圓片尺寸 | 4#6# | |
| 工作臺 | 分辨率 | 1μm |
| 定位精度 | ≤±0.02mm/100mm | |
| 承片臺 | Z向行程 | 19mm |
| 分辨率 | 0.1μm | |
| 定位精度 | ≤±3μm | |
| θ向微調范圍 | ±10°（分辨率0.0000425°） | |
| Chuck盤 | 平面度 | ≤±5μm |
| WAFER自動對準時間 | ≤20秒 | |
| 顯微鏡 | 標配雙目體視顯微鏡，光學倍率0.7X-4.5X連續變倍，可增配三目顯微鏡加視覺套件 | |
| 上下片方式 | 手動方式 | |
| 測試效率UPH（每小時產出） | ≥24K（測試儀測試時間為50ms時）支持雙芯測試 | |
| 外形尺寸（長*深*高） | 600mm*830mm*1500mm | |
| 軟件功能 | MAP | 加載，編輯，導出 |
| 對準 | 自動掃平，首點對準 | |
| 測試 | 圓形，MAP，重測，跳測。 | |
| 打點 | 離線，同步，噴墨打點，墨點尺寸φ0.5mm | |
| 接口 | TTL(標準）：GPIB/RS232/接口（選項） | |
上一條: APS-2000X2
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