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探針臺

APS-1500A

  • 副標題6寸半自動探針臺

詳細說明

通用半自動探針臺,因性價比高,適用各種分立元器件,傳感器等產品測試


項目性能指標
可測圓片尺寸4#6#
工作臺分辨率1μm
定位精度≤±0.02mm/100mm
承片臺Z向行程19mm
分辨率0.1μm
定位精度≤±3μm
θ向微調范圍±10°(分辨率0.0000425°)
Chuck盤平面度≤±5μm
WAFER自動對準時間≤20秒
顯微鏡標配雙目體視顯微鏡,光學倍率0.7X-4.5X連續變倍,可增配三目顯微鏡加視覺套件
上下片方式手動方式
測試效率UPH(每小時產出)≥24K(測試儀測試時間為50ms時)支持雙芯測試
外形尺寸(長*深*高)600mm*830mm*1500mm
軟件功能MAP加載,編輯,導出
對準自動掃平,首點對準
測試圓形,MAP,重測,跳測。
打點離線,同步,噴墨打點,墨點尺寸φ0.5mm
接口TTL(標準):GPIB/RS232/接口(選項)
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