FAPS2000X
- 副標題8寸全自動精密探針臺
詳細說明
適用于8寸6寸晶圓全自動測試
| 項目 | 描述 |
| 晶圓規格 | |
| 尺寸 | 6″ 8″ |
| Die Size | 6mil x 6mil~80mil x 80mil |
| X向 | |
| 行程 | 200mm |
| 最大速度 | 200mm/s |
| 分辨率 | 0.1μm |
| 定位精度 | ≤ ±3μm |
| 控制 | 大理石基座、伺服電機/雙閉環、光柵尺閉環 |
| Y向 | |
| 行程 | 400mm |
| 最大速度 | 200mm/s |
| 分辨率 | 0.1μm |
| 定位精度 | ≤ ±3μm |
| 控制 | 大理石基座、伺服電機/雙閉環、光柵尺閉環 |
| Z向 | |
| 行程 | 20mm |
| 分辨率 | 1μm |
| 定位精度 | ≤ ±3μm |
| 控制 | 伺服電機/閉環 |
| θ向 | |
| 微調范圍 | ±10° |
| 分辨率 | 0.0000425° |
| Chuck盤 | |
| 材質 | 鋁 |
| 平面度 | ≤±5μm |
| 鍍層 | 金 |
| 料盒 | |
| 方式 | 自動裝料、下料/手動 |
| Wafer固定 | 分檔真空吸附 |
| 上料 | 雙Cassette晶圓盒：25片；兼容：6″晶圓 |
| 下料 | |
| 視覺對準系統 | |
| 對準系統 | 實時MAP/模板對準 |
| 相機 | B/W 1280*1024 pixels |
| 顯微鏡 | 標配1：雙目體式顯微鏡：10X目鏡；鏡體倍率：0.6x-5x |
| 標配2：單筒顯微鏡，總體放大倍率350X | |
| 選配：三目顯微鏡+視覺套件 | |
| Z軸工作距離：80mm-110mm | |
| 光源 | LED環光照明 |
| 控制系統 | |
| 工控機 | DFI-610L（I5處理器、8GRAM、1THD） |
| 操作系統 | Windows7 |
| 顯示器 | 21.5″TFT-LCD monitor |
| 軟件系統 | Automatic probe test system v2.0 |
| 操作界面 | |
| 操作模式 | 操作員/工程師/管理員 |
| 探測形式 | 圓形測試/MAP測試/重測/跳測 |
| MAP圖形 | 編輯/加載/導出 |
| 對準 | 自動掃平/首點對準 |
| 打點方式 | 噴墨打點；墨點尺寸:Φ0.5mm |
| 測試儀接口 | |
| 接口 | TTL（標準）：GPIB/RS232/串口 |
| 設備參數 | |
| 外形尺寸（高×長×寬） | 1500mm×1600mm×1000mm |
| 重量 | 約500KG |
| 使用要求 | |
| 工作環境 | 溫度：15oC-30oC/濕度：＜60% |
| 電源 | AC 220V±22V/50Hz±1Hz/不大于1.5kW |
| 保護氣源 | 氮氣接口 |
| 真空源 | WAFER固定無油真空泵（自配） |
上一條: AP300
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