MPS-200XT
- 副標題8寸三溫手動探針臺
詳細說明
適用8寸以下高低溫晶圓測試。廣泛應用于研究所，大學，實驗室，研發中心。
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測圓片尺寸 | 4#6#8# | |
| xy工作臺 | 結構 | 精密絲杠，交叉滾柱導航 |
| 分辨率 | 粗調10mm/圈，微調5μm | |
| 承片臺 | θ向微調范圍 | ±10°微調， 分辨率0.0000425° |
| Chuck盤 | 平面度 | 10μm；30μm@＞100°C；20μm@＜20°C |
| 晶圓固定 | 真空吸附，分檔控制 | |
| 針座平臺 | 平面度 | ≤±50μm（導磁不銹鋼） |
| 接觸/分離 | 2.5mm,0.5mm定量器 | |
| 驅動 | 手柄驅動 | |
| 上下片 | 方式 | 手動 |
| 抽屜行程 | 260mm | |
| 圖像對準，觀察 | 配置 | 金相單筒顯微鏡，無級變倍范圍：0.6X~5X超長工作距離物鏡：2X/5X/10X三只 照明：LED同軸光照明 |
| 調節機構 | XY調節行程：50mm*50mm，Z軸微調30mm，Z氣動自動行程100mm（選配件） | |
| 溫控系統（高低溫選配） | 溫控范圍 | ’-50°C~150°C |
| 溫控精度 | 分辨率0.1°C；溫控穩定性：全溫區±1°C | |
| 保護氣體 | N2（流量：20L/H，壓力：＜0.2MPa） | |
| 探針保護 | 八角盤 | |
| 減震工作臺（選配） | 1200mm*1000mm*700mm（長*深*高） | |
| 減配機型 | MPS200X | |
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