MPS-200Q
- 副標題8寸手動探針臺（氣浮版）
詳細說明
適用8寸以下高低溫晶圓測試。廣泛應用于研究所，大學，實驗室，研發中心。
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測圓片尺寸 | 4#6#8#，碎片 | |
| xy工作臺 | 粗動臺 | 行程：250mm*250mm 鎖緊：電磁鎖 |
| 微動臺 | 行程±6.5mm 分辨率：10μm | |
| 承片臺 | Z向行程 | 3mm |
| 旋轉微調 | ±10°微調， 分辨率0.006° | |
| Chuck盤 | 平面度 | ≤±7.5μm |
| 真空 | 4#6#8#真空分檔控制 | |
| 絕緣度 | ≥3000v | |
| 結構尺寸 | 8#環槽微孔 | |
| 溫控（選配件） | RT-200°C 精度：±1°C 風冷或水冷 | |
| 針座平臺 | 平面度 | ≤±50μm（導磁不銹鋼） |
| 升降行程 | 25mm | |
| 接觸/分離 | 0.5mm | |
| 上下片方式 | 拉出式上下片 | |
| 觀察機構（可選CCD同軸光鏡頭） | 顯微鏡調節 | 顯微鏡三維微調機構行程：X：150mm Y:50mm Z:30mm |
| 顯微鏡 | 標配雙目體視顯微鏡，光學倍率0.7X-4.5X連續變倍，可增配三目顯微鏡加視覺套件 | |
| 照明 | LED亮度可調節環形燈 | |
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