MPS-150C
- 副標題6寸手動探針臺（標準版）
詳細說明
適用于6寸及以下的常規芯片測試。廣泛應用于科研機構，大學，工廠實驗室。
| 項目 | 性能指標 | |
| 可測晶圓尺寸 | 2#4#6#，碎片 | |
| 工作臺行程 | 160mm*160mm | |
| 承片臺 | Z向行程 | 3mm |
| 旋轉微調 | ±5°微調（±180°粗調） | |
| Chuck盤 | 真空 | 2#4#6#真空分檔控制 |
| 平面度 | ≤±5μm | |
| 結構尺寸 | 真空微孔 | |
| 針座平臺 | 升，降行程 | 25mm |
| 接觸/分離 | 0.5mm | |
| 可放6-8個精密針座（PT301) | ||
| 上下片方式 | 快速抽屜式上下片 | |
| 觀察機構 | 顯微鏡調節 | 龍門結構：X/Y方向±25mm，Z方向35mm |
| 顯微鏡 | 標配雙目體視顯微鏡，光學倍率0.7X-4.5X連續變倍，可增配三目顯微鏡加視覺套件（配接金相顯微鏡時，放大倍率可到1000X） | |
| 照明 | LED亮度可調節環形燈 | |
上一條: MPS-200Q
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